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基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法.pdfVIP

基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法.pdf

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    本发明涉及基板保持体、基板输送装置以及基板保持体的制造方法。在基板的输送装置中适当地调节基板保持体的温度。一种基板保持体，其设于输送基板的装置，用于保持该基板，其中，该基板保持体具有：陶瓷制的主体部；以及热管，其在所述主体部的内部形成，具备作业流体的流路。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114530404 A (43)申请公布日 2022.05.24 (21)申请号 202111246532.X (22)申请日 2021.10.26 (30)优先权数据

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