非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法.pdfVIP

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2023-05-10 发布于北京
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非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法.pdf

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本发明涉及一种非接触式测量镜片中厚和矢高的装置及方法，装置包括xy平移台(1)、第一、第二z平移台(2,3)、俯仰平台(4)、转接平台(5)、载物板(6)以及位移计(7)，所述位移计(7)包括同轴设置的第一、第二探头(8,9)，所述载物板(6)位于两探头之间，还包括测微计(10)。本发明可以同时测量出镜片中厚和矢高，从而避免分开测量带来的测量误差。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114518087 A (43)申请公布日 2022.05.20 (21)申请号 202011307774.0 (22)申请日 2020.11.19 (71)申请人宁波舜宇红外技术有限公司地址 3