一种液态金属热管封装装置及方法.pdfVIP

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2023-05-07 发布于四川
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一种液态金属热管封装装置及方法.pdf

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本发明公开了一种液态金属热管封装装置及方法，该装置包括真空操作箱、惰性气体储藏罐、真空泵机组、液态金属储藏罐、电磁流量计、热管、水氧检测仪、氦质谱检漏仪、真空计、阀门及相关管线。真空操作箱为热管灌装提供真空环境；惰性气体储藏罐提供惰性气体；真空泵机组排除真空操作箱内气体和为热管抽真空；液态金属储藏罐储藏液态金属工质；电磁流量计计量灌装液态金属工质的质量；水氧检测仪、氦质谱检漏仪、真空计检测灌装过程中的水氧含量、泄漏率、真空度。本装置结构简单、操作简便、液态金属灌装质量可控、热管灌装真空度高。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114396817 A (43)申请公布日 2022.04.26 (21)申请号 202210015055.4 (22)申请日 2022.01.07 (71)申请人西安交通大学地址