一种单晶硅PERC+SE太阳能电池的制造工艺.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种单晶硅PERC+SE太阳能电池的制造工艺.pdf

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本发明公开了一种单晶硅PERC+SE太阳能电池的制造工艺，包括以下步骤，制绒、扩散、SE、前氧化、去PSG、碱抛、后氧化、ALD、背膜、正膜、激光开槽、丝网印刷、电注入、分类检测。本发明的制造工艺使用惰性气体作为反应气体，在太阳能电池前置物碱抛前后镀有SiO2保护层，解决了激光重掺杂和碱抛兼容的问题，降低了硅片表面的缺陷密度，可以获得低的表面复合速率，而且这样不仅提高了成品率，同时对电池片的外观也不会有影响，由于掺杂的区域被充分保护，表面复合速率进一步降低，电池片的短波效应被提高，抗电势诱导衰减

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114335252 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111674432.7 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人张家港博佑光电科技有限公司