内部气氛含量测试装置及测试方法.pdfVIP

下载本文档

8
0
约1.68万字
约 15页
2023-05-06 发布于北京
举报
版权申诉

内部气氛含量测试装置及测试方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开一种内部气氛含量测试装置及测试方法，内部气氛含量测试装置包括真空腔室、质谱仪以及电离源，真空腔室作为气体电离的腔体，气体进样装置向真空腔室的测试腔内输入待检测气体，设于测试腔内的电离源将待检测气体电离形成离子束，离子束在电离源的驱动下进入质谱仪以检测分析气体成分和含量。测试方法是用于该内部气氛含量测试装置的测试方法。使用该内部气氛含量测试装置对小腔体气密封器件的进行部气氛测试，可以在测试腔内营造高真空环境对微量气体进行气体成分及含量的测试，气体在测试腔内直接扩散而不存在流导差异，即不存

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324548 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111657715.0 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人中国