一种晶圆晶向的定位装置及方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种晶圆晶向的定位装置及方法.pdf

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本发明提供了一种晶圆晶向的定位装置及方法，该装置包括：承托环，旋转吸附装置，以及校准装置；承托环被构造出至少一圈径向向内延伸以承托晶圆的承托环面，承托环面设置环形布置的若干第一传感器，以采集基于晶圆压持第一传感器所确定的检测数据；校准装置包括一横向移动并设置校准边的调节块；承托环面与晶圆分离后，由旋转吸附装置吸附晶圆并执行粗调旋转，以将晶圆所具有的平边转动至面向校准边的状态，横向移动调节块，以在校准边与晶圆的平边吻合过程中对晶圆执行精调旋转。采用本发明，可使晶圆的平边定位准确，解决了在放置过程中

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334781 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111653431.4 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人智程半导体设备科技（昆山）有限公