基于角度复用的痕量太赫兹指纹检测的倒置光栅传感器.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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基于角度复用的痕量太赫兹指纹检测的倒置光栅传感器.pdf

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本发明公开了基于角度复用的痕量太赫兹指纹检测的倒置光栅传感器，包括同质的倒置光栅以及均匀涂覆于传感器上方表面的待测样品；所述倒置光栅预设角度的角度范围为0°‑75°，所述倒置光栅的材料为二氧化硅SiO2、硅Si、蓝宝石Al2O3、氮化硅Si3N4中的任意一种。在利用此倒置光栅进行痕量检测时，太赫兹波从倒置光栅结构下方入射，由于导模共振效应在结构上表面形成了倏逝波场，极大地增强样品对太赫兹波的吸收，并且利用具有平整上表面的倒置光栅进行测量，避免了在较大起伏度的图案化表面上均匀共形涂覆的工序以及复杂

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324232 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111662619.5 (22)申请日 2021.12.31 (71)申请人厦门大学地址 36