一种避免基板底面污染的单侧湿法系统.pdfVIP

下载本文档

1
0
约6.63千字
约 7页
2023-05-06 发布于北京
举报
版权申诉

一种避免基板底面污染的单侧湿法系统.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了本发明的技术方案为采用一种避免基板底面污染的单侧湿法系统，包括：支撑传输机构；吸附机构；传动交握机构；淋洗机构；风干机构。具有上述结构的单侧湿法系统，有效的解决了背部芯片的保护，有效的隔绝了与药液的接触问题，可重点应运用于单侧湿法(如腐蚀、掺杂、反应)工艺的芯片。各个功能部分单独存在，各组件联动协作，有很大的应用拓展能力，同时机构的占用空间更加小。本系统不仅可用于湿法淋洗工艺、还可用于腐蚀工艺、掺杂工艺、单侧清洗工艺及其反应工艺等。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334723 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111575176.6 (22)申请日 2021.12.21 (71)申请人成都中建材光电材料有限公司