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2023-05-06 发布于北京
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本发明属光学元件表面质量的检测领域，尤其涉及渐变中性密度片针孔测试系统，包括整体外框架（1）、激光光源（2）、上光学调整架（301）、下光学调整架（302）、承载平台（4）、运动机构（5）、承载夹具（6）、光功率计（8）及计算机（9）；运动机构（5）包括旋转电机（501）及X轴电动直线位移台（502）；旋转电机（501）固定设于X轴电动直线位移台（502）之上，其输出轴与承载夹具（6）垂直固定相接；X轴电动直线位移台（502）固定设于承载平台（4）之上，其推进端与Y轴电动直线位移台（503）固定

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324160 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111630222.8 (22)申请日 2021.12.28 (71)申请人沈阳仪表科学研究院有限公司