一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备.pdf

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本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于外延工艺的衬底预热装置及设备，用于在外延生长前对衬底进行预热处理，所述用于外延工艺的衬底预热装置包括：基座；衬底取放台，用于装载并固定衬底；衬底加热器，用于对衬底进行预热处理，所述衬底加热器设置在所述衬底上方，所述衬底加热器固定连接在所述基座上；升降驱动组件，用于驱动所述衬底取放台做升降运动，使衬底靠近或远离所述衬底加热器。所述用于外延工艺的衬底预热装置通过将衬底加热器设置在衬底上方，使得衬底加热器发出的热量直接作用于衬底上表面，从而使衬底上表面的

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334738 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111658267.6 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人季华实验室地址 5