清洗装置及清洗方法.pdfVIP

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2023-05-06 发布于北京
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清洗装置及清洗方法.pdf

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本发明提供一种清洗装置和清洗方法，包括承载台，用于承载并固定待清洗的晶圆；旋转轴承，位于在承载台之下，用于带动承载台旋转；清洗管路，位于在旋转轴承中间，所述清洗管路的侧壁设置通孔；气体管路，与所述通孔连接，用于向所述清洗管路与所述旋转轴承之间的间隙吹扫保护气体，以避免旋转轴承高速旋转产生的气流将异物通过间隙带入吸附在所述晶圆的背面。本发明在清洗管路的侧壁设置通孔，通过所述通孔向旋转轴承和清洗管路之间间隙吹扫保护气体，避免旋转轴承高速旋转产生的气流将外界异物或旋转轴承表面的金属颗粒通过所述间隙带入

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114334726 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111592808.X (22)申请日 2021.12.23 (71)申请人上海新昇半导体科技有限公司