一种溅射率的测量方法.pdfVIP

下载本文档

6
0
约1.02万字
约 8页
2023-05-06 发布于北京
举报
版权申诉

一种溅射率的测量方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提出了一种溅射率的测量方法，将测试样品置于辉光放电发射光谱仪的激发窗口上，开始测试，并记下激发时间t；激发停止后，取下该测试样品，并置于3D激光显微镜下用激光模式进行扫描；通过3D激光显微镜上的测量软件，测量溅射坑的体积v；通过计算公式q＝v*ρ/t计算出溅射率q，其中ρ为测试样品的密度。该测量方法使用3D激光显微镜测量溅射坑的体积，不需要选取底部测量基准面即可直接得到体积结果，测量过程简单，稳定性好，测量结果精度高；并且3D激光显微镜不需要与样品表面接触，不会对样品表面造成损伤。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114324298 A (43)申请公布日 2022.04.12 (21)申请号 202111541003.2 (22)申请日 2021.12.16 (71)申请人东风汽车集团股份有限公司