使用自混合干涉测量法的表面品质感测.pdfVIP

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2023-05-04 发布于四川
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使用自混合干涉测量法的表面品质感测.pdf

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本公开涉及使用自混合干涉测量法的表面品质感测。本发明描述了一种电子设备。该电子设备包括外壳、附接到外壳的一组一个或多个SMI传感器，以及处理器。该组一个或多个SMI传感器包括一组一个或多个电磁辐射发射器，该组一个或多个电磁辐射发射器具有一组一个或多个谐振腔并且被配置为发出一组一道或多道电磁辐射束。该组一个或多个SMI传感器还包括一组一个或多个检测器，该组一个或多个检测器被配置为生成该组一个或多个谐振腔内的自混合的指示。处理器被配置为使用自混合的指示来表征目标的光场散斑。处理器还被配置为使用光场散

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114252411 A (43)申请公布日 2022.03.29 (21)申请号 202110939964.2 (22)申请日 2021.08.17 (30)优先权数据