一种差分电容式压力传感器及其用以精确测量管道流体压力的方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于北京
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一种差分电容式压力传感器及其用以精确测量管道流体压力的方法.pdf

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本发明提供了一种差分电容式压力传感器，包括：测量电容，包括基座电极和感应电极；保护电极，环绕测量电容设置，在测量电容和保护电极之间包括密封空气腔；参考电容，设置在测量电容和保护电极之间。本发明还提供了一种利用该压力传感器精确测量管道流体压力的方法，包括：获得测量电容的电容变化量ΔC；获得测量电容的电容值C1和参考电容的电容值C2；设定测量电容的电容值C1和参考电容的电容值C2的差分容值Cin等于测量电容的电容变化量ΔC；将差分电容值Cin转换为电压Vin；对转换电压Vin进行补偿和校准并输出。本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199421 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111521310.4 (22)申请日 2021.12.13 (71)申请人上汽大众汽车有限公司