一种轴向风冷式多模圆柱谐振腔MPCVD装置.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种轴向风冷式多模圆柱谐振腔MPCVD装置.pdf

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本发明公开了一种轴向风冷式多模圆柱谐振腔MPCVD装置，解决现有圆柱谐振腔MPCVD装置的结构无法适应高功率生长的技术问题。本发明包括微波发生装置，以及与微波发生装置相连接的谐振腔体；谐振腔体内设有与微波发生装置相连的不锈钢水冷天线、以及与不锈钢水冷天线相连的环形石英窗口，谐振腔体顶部和底部分别设有与谐振腔体相连通的散热机构和排气机构，排气机构底部设升降机构，升降机构顶部设有生长基台。本发明采用了一种环形石英窗口取代传统的平板石英窗口，其环形中部位置被不锈钢水冷天线所取代，避免了等离子体的直接轰

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114203510 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111507231.8 (22)申请日 2021.12.10 (71)申请人成都稳正科技有限公司