一种基于Cu2O-CuO分等级结构微米花敏感材料的二氧化氮传感器及其制备方法.pdfVIP

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2023-04-28 发布于四川
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一种基于Cu2O-CuO分等级结构微米花敏感材料的二氧化氮传感器及其制备方法.pdf

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一种基于Cu2O‑CuO分等级结构微米花敏感材料的二氧化氮传感器及其制备方法，属于半导体氧化物气体传感器技术领域。本发明所采用的传感器结构是由带有2个环形金电极的Al2O3绝缘陶瓷管、涂敷在环形金电极和Al2O3绝缘陶瓷管上的基于Cu2O‑CuO分等级结构微米花半导体敏感材料、以及穿过Al2O3绝缘陶瓷管的镍铬合金加热线圈组成。该传感器对二氧化氮表现出卓越的选择性、高灵敏度(10.2‑1ppm)和低的检测下限(1.37–5ppb)，且有较好的长期稳定性和快的响应恢复时间。本发明器件工艺简单，体积

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114199953 A (43)申请公布日 2022.03.18 (21)申请号 202111534484.4 (22)申请日 2021.12.15 (71)申请人吉林大学地