激光加工装置和激光加工方法.pdfVIP

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2023-04-26 发布于四川
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激光加工装置和激光加工方法.pdf

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激光加工装置构成为执行：第1处理，基于规定的计算式生成第1分支图案，使所生成的第1分支图案显示于反射型空间光调制器；第2处理，控制光源单元以出射激光；第3处理，以检测利用第1分支图案的分支后的各激光的反射光的方式控制检测部；第4处理，导出分支后的各激光的输出实测值，并生成使输出实测值接近输出目标值的分支图案即第2分支图案的生成所涉及的平衡参数；和第5处理，根据平衡参数对计算式进行修正，基于修正后的计算式，生成第2分支图案并设定并显示于反射型空间光调制器以用于加工工艺。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114074216 A (43)申请公布日 2022.02.22 (21)申请号 202110954818.7 (22)申请日 2021.08.19 (30)优先权数据