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本发明一种六氟化硫浓度及其分解产物浓度在线监测的方法,检测设备包括:快插接头、减压阀、流量计、第一开关阀、第二开关阀、飞行时间质谱仪和离子迁移谱;飞行时间质谱仪和离子迁移谱并联,其中飞行时间质谱仪对SF6分解产物进行监测,离子迁移谱对SF6气体的纯度进行监测;飞行时间质谱仪和离子迁移谱可以分开进行监测,由于离子迁移谱的分析速度快,可进行设备的快速筛查,当发现问题时再采用飞行时间质谱仪对SF6产生的分解产物种类和浓度进行确认,此时利用飞行时间质谱仪和离子迁移谱对SF6浓度及其分解产物浓度进行监测,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114062475 A
(43)申请公布日 2022.02.18
(21)申请号 202111241155.0
(22)申请日 2021.10.25
(71)申请人 广西电网有限责任公司电力科学研
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