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净房操作管理及防护第1页/共57页 2主要内容一 基本术语二 净化的一些基础知识三 净化房的设计四 净化房的管理五 静电防护第2页/共57页 31 净房(Clean Room) 是指一个着重清洁管理,空气中悬浮粒子浓度受控的 空间，在这空间中保证空气中浮游微粒子满足规定的净化 等级，所使用的材料、药液也要保持一定的清洁度，而且 根据需要，对温度、湿度、压力等环境条件加以监督和管 理。 一 基本术语 控制的因素包括温度、湿度、压力、清洁度、静电对策、唤气次数、吹出风速、噪音、保养频度、作业衣等级、人员数。 第3页/共57页 42 洁净度(Cleanliness) 指每立方英尺的空气中含有大于0.5μm直径的尘埃数量。 由于LCD（液晶显示器）的盒厚间隙极其微小，只有4~8um（微米），而人的头发丝直径一般是几十微米，空气中能看到的粉尘一般也是十几个微米以上，同时还有许多看不到的尘埃。如果在制作LCD时有一些看得见或看不见的尘埃、杂质落在屏上，就会被污染，造成显示缺陷。 这就决定了LCD的生产过程是必须在高度清洁的环境下进行.第4页/共57页 53 高效空气过滤器（HEPA） (High Efficiency Particular Air Filter) 在额定风量下，对粒径大于等于0.3um粒子的捕集效率 在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。4 自净时间（Cleanliness Vecoveryly Characteristic) 洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。第5页/共57页 65 空态 (as-built) 设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、 材料及人员。6 静态 (as-rest) 设施已经建成，生产设备已经安装，并按业主及供应商同意的状态运行，但无生产人员。6 动态 (operational) 设施及生产设备按规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状况下进行工作。第6页/共57页 7二 净化的一些基础知识大气中的含尘浓度第7页/共57页 8第8页/共57页 9第9页/共57页 10灰尘的特征和来源灰尘按形态分为：固态、液态、气体和其他 其他：光、电磁噪声、静电、振动、细菌等 ； 气体：烟、呼气、各种溶剂； 液体：人的汗水、水、油等；固体：人体的头发、皮屑、衣服的纤维、美容的 面粉粉底、垃圾、粉末、各种材料的粉末；第10页/共57页 11灰尘的特征和来源灰尘的类别按存在的位置划分： 人体携带内部灰尘； 附着灰尘； 浮游灰尘； 大气灰尘； 地面灰尘； 内墙壁灰尘； 摩擦灰尘； 第11页/共57页 12灰尘的特征和来源人体、衣物、设备、建筑物和外部空气灰尘； 人体脱落微粒子：21亿个/日（大于0.3μm） 126亿个/周（工作日）第12页/共57页 13第13页/共57页 14作业者的行动使污染增加程度 第14页/共57页 15≥0.5um颗粒数(pc/min.p)一般工作服白色无菌工作服全包式洁净工作服静站339,000113,0005,600静坐302,000112,0007,450腕上下运动2,980,000300,00018,700上身前曲2,240,000540,00024,200腕自由运动2,240,000289,00020,500脱帽1,310,000头上下左右631,000151,00011,200上身扭动850,000267,00014,900曲身3,120,000605,00037,300踏步2,300,000860,00044,800步行2,920,0001,010,00056,000第15页/共57页 16 ?洁净室粒子来源分析第16页/共57页 17三 净化房的设计第17页/共57页 18 在净化室进行灰尘的收集是HEPA过滤器0.3μm以上的粒子捕集率为99.97%以上，使大多数粒子不能通过 。净化系统净化系统第18页/共57页 19净化空气的循环方式HEPA空调机垂直层流第19页/共57页 20HEPA空调机水平层流第20页/共57页 21HEPA空调机乱流第21页/共57页 22净化空气的循环方式各种气流方式比较第22页/共57页 23第23页/共57页 24混合段：可根据需要安装对开风量调节阀,使新风和回风