非周期微纳结构彩色滤光片及其制备方法和装置.pdfVIP

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2023-04-24 发布于北京
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非周期微纳结构彩色滤光片及其制备方法和装置.pdf

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本发明公开了一种非周期微纳结构彩色滤光片及其制备方法和装置，该滤光片包括衬底以及位于所述衬底上的若干个无规则的微纳尺度的金属颗粒，所述金属颗粒聚集形成无规则的微米尺度的块状结构；在光源照射下，所述金属颗粒之间产生局域表面等离子体共振。该制备方法包括：提供衬底；采用电子束蒸镀在所述衬底上制备预设厚度的预设金属薄膜；将包含金属薄膜的衬底进行热退火处理以形成无规则的微纳尺度的金属颗粒。本发明实施例中的非周期微纳结构彩色滤光片的制造成本低、良率高且适用于大规模生产，可广泛应用于光学器件技术领域。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114019594 A (43)申请公布日 2022.02.08 (21)申请号 202111405145.6 (22)申请日 2021.11.24 (71)申请人中山