准原位X射线光电子能谱测试装置及其测试方法.pdfVIP

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2023-04-23 发布于四川
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准原位X射线光电子能谱测试装置及其测试方法.pdf

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本发明涉及一种准原位X射线光电子能谱测试装置及其测试方法，包括混气系统、截止阀、反应池、插板阀、快速进样腔体、分子束外延薄膜生长腔体、快速退火腔体、样品过渡转移腔体、缓冲腔体、第二快速进样腔体、X射线光电子能谱分析腔体；混气系统通过截止阀接通反应池，各个腔体都搭配有独立的真空泵组系统，并相互之间均通过插板阀相互隔绝，整个装置中的所有腔体都通过密封通道真空互联，被测样品在装置中完成测试前工艺处理和检测。实现样品在反应或者经过气体高温处理后，在不暴露空气的情况下转移至X射线光电子能谱分析腔体中进行测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113984922 A (43)申请公布日 2022.01.28 (21)申请号 202111225240.8 (22)申请日 2021.10.21 (71)申请人上海科技大学地址