一种晶圆研磨自动上料机器臂.pdfVIP

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2023-04-17 发布于四川
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一种晶圆研磨自动上料机器臂.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆研磨自动上料机器臂，涉及晶圆研磨技术领域，为解决现有的晶圆研磨自动上料机器臂在长时间使用下，容易发生晃动，导致物料位置产生变化，影响晶圆的打磨效果的问题。所述机械臂主体的上端安装有安装控制支架，所述安装控制支架与机械臂主体固定连接，所述安装控制支架的下端安装有旋转板，所述旋转板与安装控制支架通过轴承连接，所述安装控制支架的外部安装有限位凸台，所述限位凸台的内部安装有防晃支架，所述防晃支架的内部安装有防晃滚轮，所述旋转板的上端安装有限位防晃爪。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215748547 U (45)授权公告日 2022.02.08 (21)申请号 202122035837.8 (22)申请日 2021.08.27 (73)专利权人苏州斯尔特微电子有限公司