一种智能蒸发源.pdfVIP

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2023-04-14 发布于四川
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一种智能蒸发源.pdf

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本实用新型公开了一种智能蒸发源，主要包括蒸发舟、温度传感阵列、柔性边界驱动系统和中央智能控制模块；蒸发舟包括边框和底部，边框包括固定边框、柔性边框和支撑边框；柔性边框设置在蒸发舟上与镀膜幅宽方向平行的一侧上，固定边框设置在蒸发舟上其余的三侧；固定边框上设置有振动匀料机构，可以使蒸发材料在蒸发区域内均匀分布；温度传感阵列主要由多个温度传感器组成，温度传感器分为多列，多个温度传感器列在镀膜幅宽方向上并列排布在蒸发舟的底部；在蒸发镀膜过程中，中央智能控制模块控制柔性边界驱动系统驱动柔性边框产生不同程度

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215668180 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202120959212.8 (22)申请日 2021.05.07 (73)专利权人泊肃叶科技（沈阳）有限公司