磁吸式探针卡装置.pdfVIP

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2023-04-14 发布于四川
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磁吸式探针卡装置.pdf

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本实用新型为一种磁吸式探针卡装置，包括一探针卡及一测试座。探针卡包括复数探针设置在基板上，且探针向下延伸至基板下表面，每一基板上表面镀有一磁性层。测试座则对应探针卡设置，测试座包括一晶圆测试平台及一电磁铁，电磁铁设置于晶圆测试平台下方，电磁铁能产生磁力，以吸引基板接近晶圆测试平台，令复数探针接触到晶圆测试平台上的晶圆，以进行晶圆检测。本实用新型可利用磁力吸附探针卡接触到晶圆，能有效确保复数探针都接触晶圆探测点，且避免探针被过度施力，减少探针结构的疲劳或断裂，同时减少晶圆测试接点上针痕的产生程度。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215678497 U (45)授权公告日 2022.01.28 (21)申请号 202120988401.8 (22)申请日 2021.05.10 (73)专利权人苏州雨竹机电有限公司