双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置.pdfVIP

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2023-04-11 发布于北京
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双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置.pdf

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本实用新型实施例公开了双光束激光旋转制备锥度可控微孔的装置，包括光束处理组件、分束组件以及透镜，光束处理组件与分束组件连接，分束组件以及光束处理组件分别设于透镜的上方，光束处理组件设于分束组件的上方。本实用新型实施例通过设置光束处理组件、分束组件以及透镜，由激光器发射的激光光源垂直入射至光束处理组件，经由光束处理组件处理后，由分束组件进行分束形成双光束后，经过透镜聚焦后在样品的表面上进行孔的加工，采用常规通用的光学元件，实现结构简单，成本低，通用性强，实用方便的锥度可控的钻孔。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215545921 U (45)授权公告日 2022.01.18 (21)申请号 202120942266.3 (22)申请日 2021.04.27 (73)专利权人英诺激光科技股份有限公司