一种用于半导体芯片清洗的一体化设备.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种用于半导体芯片清洗的一体化设备.pdf

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本实用新型公开了一种用于半导体芯片清洗的一体化设备，包括箱体和空心柱，所述箱体的外部设置有支撑架，所述箱体内部的中间位置处活动连接有空心柱，所述空心柱的内部活动连接有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠的外部活动套接有丝杠螺母，所述丝杠螺母的一侧固定连接有环箍。该用于半导体芯片清洗的一体化设备通过设置有芯片篮、放置板、芯片载具、第一抽泵、给水箱、排水管、第二抽泵，芯片篮内设置有六组“L”型放置板，芯片载具置于放置板中便于清洗时固定，第一抽泵将给水箱内的清水抽入清洗室，超声波发生器通过向超声波换能器传递振波，实

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215496647 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122041536.6 (22)申请日 2021.08.27 (73)专利权人太仓丞泰机电设备有限公司