一种盒装晶圆吸附分拣结构.pdfVIP

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2023-04-10 发布于四川
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一种盒装晶圆吸附分拣结构.pdf

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本实用新型公开一种盒装晶圆吸附分拣结构，包括吸嘴浮动头，所述吸嘴浮动头包括横板和竖板，所述竖板上固定有第一直线导轨，所述第一直线导轨的滑块上固定有吸嘴固定板，所述吸嘴固定板上固定有第一限位板，所述第一直线导轨的顶部固定有与第一限位板配合的第二限位板，所述第一限位板位于横板和第二限位板之间；所述吸嘴固定板上固定有吸嘴。本实用新型结构简单，由于第一限位板和第二限位板的配合设置，能够防止直线导轨损坏，吸嘴直接砸穿晶圆的情况发生；增加第一缓冲装置和第二缓冲装置能够防止吸嘴在取晶圆的时候增加一定的缓冲力，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 215478328 U (45)授权公告日 2022.01.11 (21)申请号 202122155459.7 (22)申请日 2021.09.07 (73)专利权人宁波轻蜓视觉科技有限公司