英福康氦检仪技术手册.docxVIP

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2023-03-24 发布于天津
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英福康氦检仪技术手册.docx

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UL1000Fab 技术手册第 1 页共 109 页技术手册 2023 年 3 月 11 日 2.0 版氦检漏仪 1 UL1000Fab UL1000Fab 技术手册第 2 页共 109 页 2 2 名目一般信息本手册使用符号安全符号指示符真空符号术语定义 INFICON 效劳的支持修理中心前言用途技术参数物理参数电气参数其它参数环境条件开箱设备供货范围附件与选件吸入器管线SL200 工具箱氦气瓶支架 ESD 垫层手持单元安装运输就位电连接供电电源数据采集系统的连接附件数字输出数字输入记录仪 2.3.2.