一种具备清洁功能的PVD镀膜装置.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种具备清洁功能的PVD镀膜装置.pdf

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本实用新型公开了一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，包括箱体，所述箱体左侧的底部固定连接有真空泵，所述真空泵的抽气管与箱体连通，所述箱体内腔的底部通过连接块固定连接有下电极板，所述箱体内腔的顶部通过连接块固定连接有上电极板。本实用新型通过设置双向螺纹杆、螺纹块、电动伸缩杆、吸尘头、转轮、皮带、电机、导管、电磁阀、风机、过滤箱、第一滤板、第二滤板和控制器的配合使用，具备便于清洁的优点，解决了现有的PVD镀膜装置不具备清洁功能，不能在镀膜前对工件清新清洁，需要用到指定的清洁机器进行清洁，在两个装置转运

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213652620 U (45)授权公告日 2021.07.09 (21)申请号 202021984849.4 (22)申请日 2020.09.11 (73)专利权人昆山市正行电子科技有限公司