一种固体前驱体升华装置.pdfVIP

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2023-03-17 发布于北京
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一种固体前驱体升华装置.pdf

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本实用新型属于沉积设备技术领域，公开一种固体前驱体升华装置。包括卧式圆柱容器，该容器的两端设有流体入口和流体出口，容器内沿其轴心线设有空心转轴并从流体入口延伸出来，空心转轴在伸出流体入口之后设有进气口，空心转轴在流体入口内的部位开设有气孔；空心转轴在伸出流体入口之后连接有电机；容器内空心转轴上同心均匀连接有若干个盘状件，盘状件直径＜容器内直径，盘状件上均匀开设有流体通孔，盘状件上避开流体通孔涂覆有固态前驱体；容器外部设有加热单元，所述加热单元包括加热器以及与其连接的温度调节器。本实用新型提高了载

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213652634 U (45)授权公告日 2021.07.09 (21)申请号 202021943598.5 (22)申请日 2020.09.08 (73)专利权人巩义市泛锐熠辉复合材料有限公