一种二氯氢硅提纯装置.pdfVIP

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2023-03-15 发布于北京
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一种二氯氢硅提纯装置.pdf

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本实用新型公开了一种二氯氢硅提纯装置，具体涉及二氯氢硅提纯技术领域，包括包括支脚、提纯塔和外壳体，所述提纯塔外部的底端设置有外壳体。本实用新型通过设置有活性炭颗粒板、过滤网、第一卡块、第一卡槽、第二卡槽和第二卡块，提纯塔内部的过滤网可以对二氯二氢硅中的较多的杂质，过滤网对二氯二氢硅进行过滤之后，活性炭颗粒板在重新对二氯二氢硅进行过滤，活性炭颗粒板内部的活性炭颗粒可以吸附二氯二氢硅中硼、磷、以及金属，对二氯二氢硅进行较细的过滤，二氯二氢硅从活性炭颗粒板内部过滤之后可以提取比较纯的二氯二氢硅，当需要

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213569551 U (45)授权公告日 2021.06.29 (21)申请号 202022594122.1 (22)申请日 2020.11.11 (73)专利权人大连科利德光电子材料有限公司