一种硅片传输装置及硅片脱胶插片一体机.pdfVIP

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2023-03-14 发布于四川
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一种硅片传输装置及硅片脱胶插片一体机.pdf

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本实用新型实施例提供了一种硅片传输装置及硅片脱胶插片一体机，硅片传输装置包括矩形吸水板、主动轴、第一从动轴和第一传送带；吸水板的第一侧边设置有主动轴，吸水板的第二侧边设置有第一从动轴，主动轴、第一从动轴均与吸水板转动连接，主动轴与第一从动轴通过第一传送带连接；吸水板的第三侧边和第四侧边均开设有避让孔，且两个避让孔位于第一传送带的两侧；其中，第一侧边和第二侧边为沿第一方向相对的两边，第三侧边和第四侧边为沿第二方向相对的两边，第一方向与第二方向相互垂直。本实用新型实施例的硅片传输装置有助于提高硅片插

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 218602397 U (45)授权公告日 2023.03.10 (21)申请号 202222345750.5 (22)申请日 2022.09.02 (73)专利权人隆基绿能科技股份有限公司地址