一种用于MEMS微镜的防撞结构.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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一种用于MEMS微镜的防撞结构.pdf

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本实用新型公开了一种用于MEMS微镜的防撞结构，包括底板，所述底板顶端分别开设有多个限位槽与多个卡槽，多个所述卡槽卡合连接有多个卡块，多个所述卡块顶端共同连接有防护板，所述防护板顶端固定连接有顶板，所述限位槽内侧壁光滑贴合有限位杆，本实用新型通过设置限位杆与弹簧，限位杆的设置避免弹簧在受到震动时而偏移，从而减少MEMS微镜主体的晃动幅度，从而大大提高MEMS微镜主体工作时的稳定性，该装置操作简单，使用效果更好，大大提高MEMS微镜主体减震效果，从而使得MEMS微镜主体可以更加稳定的工作，避免ME

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213544953 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 202021511994.0 (22)申请日 2020.07.27 (73)专利权人无锡微视传感科技有限公司