组合磁场与内衬偏压阶梯管的复合型过滤装置.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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组合磁场与内衬偏压阶梯管的复合型过滤装置.pdf

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组合磁场与内衬偏压阶梯管的复合型过滤装置，属于表面技术领域，本发明为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本发明的装置包括：偏压电源、电弧离子镀靶源及电源、多级磁场装置及电源、内衬偏压阶梯管装置及偏压电源、活动线圈装置及电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积：连接装置，启动系统，待真空室内的真空度小于10‑4Pa时，通入工作气体，开启镀膜电源，利用偏压电源对电弧等离子体的能量进行调节，通过内衬偏压阶梯管装置和多级磁场装置消除电弧等离子体中的大颗粒缺陷

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213538083 U (45)授权公告日 2021.06.25 (21)申请号 201822244504.4 (22)申请日 2018.12.29 (66)本国优先权数据 2017219