一种硅片在线检测移载装置及太阳能电池生产线.pdfVIP

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2023-03-13 发布于四川
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一种硅片在线检测移载装置及太阳能电池生产线.pdf

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本申请实施例提供一种硅片在线检测移载装置及太阳能电池生产线，涉及硅片加工技术领域。该硅片在线检测移载装置包括：可横移的吸盘装置，用于吸附硅片并提起；厚度测试仪，安装于吸盘装置上，用于检测被吸附硅片的整体厚度；振动器，安装于吸盘装置上，用于振动以分离被吸附硅片下方粘附的硅片；可升降的缓存台，用于承接吸盘装置上落下的硅片。该硅片在线检测移载装置及太阳能电池生产线能够有效分离叠片，还能极大减少硅片破损的发生。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213519907 U (45)授权公告日 2021.06.22 (21)申请号 202023282816.8 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020