一种MEMS麦克风结构.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种MEMS麦克风结构.pdf

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本实用新型提供一种MEMS麦克风结构，该MEMS麦克风结构包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中设有在垂直方向上贯穿所述基板的空腔；所述振膜悬设于所述空腔上方，所述振膜包括折叠结构，所述折叠结构在垂直方向上来回弯折；所述支架连接于所述振膜与所述基板之间，且所述折叠结构与所述振膜的中心之间的距离小于所述支架与所述振膜的中心之间的距离。本实用新型中，振膜包括用于增加振膜柔性程度和降低振膜内应力的折叠结构，且所述折叠结构呈直角弯折，当为了达到更好的应力释放效果而增加折叠结构的数量时，相比于弧形结构，本

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213403499 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022333077.4 (22)申请日 2020.10.19 (73)专利权人瑶芯微电子科技（上海）有限公司