一种晶圆生产加工专用曝光装置.pdfVIP

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2023-03-10 发布于四川
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一种晶圆生产加工专用曝光装置.pdf

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本实用新型公开了一种晶圆生产加工专用曝光装置，包括机体、弹性伸缩垫，所述机体的顶部安装有支撑架，该支撑架的端部固定有灯罩，所述灯罩的底部安装有曝光管，所述机体的顶部位于支撑架的一侧安装有面板，所述机体上设置有转盘，该转盘上设置有插孔挡板，所述弹性伸缩垫的顶部设置有底座，所述曝光管上设置有凸出部，且底座和凸出部上设置有稳固机构，该稳固机构包括容置槽、抵块、穿孔、弹簧，所述底座的表面开设有对称分布的穿孔；本实用新型的有益效果是：通过设计的稳固机构，实现了弹性伸缩垫的快速安装和取下，解决了传统中的弹性

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213399197 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022562202.9 (22)申请日 2020.11.09 (73)专利权人苏州市永辰芯微电子有限公司