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2023-03-10 发布于四川
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本实用新型提供了一种振荡器，包括基底、驱动部件、绝缘层和滑动部件，绝缘层设于基底的表面，滑动部件贴合于绝缘层上，且滑动部件和绝缘层的贴合面为超滑接触，驱动部件包括至少三个驱动件，初始位置时，滑动部件同时与所有驱动件有正对面积，朝向驱动部件的任意两个相邻的驱动件施加偏压，利用静电力使得滑动部件能够在绝缘层上水平滑动，即滑动部件能够被驱动部件驱动并发生振荡，形成振荡器，其移动的相对位移很大，且结构相适应，能够在真正的微米尺度上实现振荡功能，由于摩擦力极低且无磨损，可以实现较低的驱动电压、极高的使用寿

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213402941 U (45)授权公告日 2021.06.08 (21)申请号 202022262034.1 (22)申请日 2020.10.13 (73)专利权人深圳清华大学研究院