抽气装置及真空传送系统.pdfVIP

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2023-03-01 发布于四川
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抽气装置及真空传送系统.pdf

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本申请提供了一种抽气装置，用于实现连通的反应腔体和传送腔体之间的压力平衡。抽气装置包括连通反应腔体上的第一抽气组件、连通传送腔体上的第二抽气组件、以及连接于第一抽气组件和第二抽气组件之间的连接组件。第一抽气组件包括自动压力控制阀、高分子泵、第一真空泵、环形小管和旁通阀，且环形小管和旁通阀与自动压力控制阀并联；第二抽气组件包括第二真空泵；连接组件包括连接管道和连接阀。本申请抽气装置能够实现反应腔体和传送腔体之间的真空传送，使得两个装置之间的腔门打开之前，两个装置内的压力差相对平衡，进而避免传送过程

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213026078 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202022215664.3 (22)申请日 2020.09.30 (73)专利权人重庆康佳光电技术研究院有限公