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一种晶圆切割装置,本实用新型涉及晶圆切割技术领域，包括底座；底座上设有沿X方向直线运动的X向气浮直线运动机构、沿Y方向直线运动的Y向气浮直线运动机构和设置在Y向气浮直线运动机构上的用于固定晶圆的转台及驱动转台旋转的动力装置。旨在解决现有技术中晶圆切割用移动装置精度低和长时间使用精度降低的技术问题。
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 213005966 U (45)授权公告日 2021.04.20 (21)申请号 202020934602.5 (22)申请日 2020.05.28 (73)专利权人 河南通用智能装备有限公司
知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来， 知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作， 经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。
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