一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构.pdfVIP

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2023-02-23 发布于四川
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一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构.pdf

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本实用新型公开了一种敷设在弹性基底上的硬质薄膜结构，硬质薄膜结构是在弹性基底上敷设有类金刚石薄膜，类金刚石薄膜与弹性基底之间设置有纳米过渡层。制备方法为：第一步、清洗弹性基底；第二步、制备类金刚石薄膜,具体步骤为：步骤一、制备纳米过渡层；步骤二、制备外层硬质薄膜。有益效果：形成高质量的纳米结构过渡层；进一步形成结合力强、柔韧性高、耐磨性好的类金刚石薄膜硬质薄膜结构。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212833994 U (45)授权公告日 2021.03.30 (21)申请号 202020589471.1 (22)申请日 2020.04.20 (73)专利权人海南大学地址 5