一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置.pdfVIP

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2023-02-16 发布于四川
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一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置.pdf

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本实用新型涉及真空镀膜基板温度冷却的技术领域，尤其涉及一种可优化真空镀膜基板温度的冷水板装置。包括设于镀膜箱体内的冷却水管安装底板、与冷却水管安装底板拼装的防污板以及设于所述冷却水管安装底板与防污板之间输送冷却水的冷却水管，其特征在于：所述冷却水管安装底板上设有供所述冷却水管镶嵌于其中的槽，盘式走线设计的冷却水管镶嵌在冷却水管安装底板的槽上，增大了冷却水管与冷却水管安装底板的接触面积，结构精巧紧凑，达到快速导热的功能，提高冷却效果，使得真空镀膜基板温度的冷却效率加快，从而减少生产节拍时间，节约整

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212610881 U (45)授权公告日 2021.02.26 (21)申请号 202020617963.7 (22)申请日 2020.04.22 (73)专利权人广东生波尔光电技术有限公司