一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种真空镀膜工艺腔及具有其的真空悬浮镀膜机.pdf

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本实用新型提供了一种真空镀膜工艺腔，包括腔盖、腔壁和腔底板，还包括喷淋系统和加热吹托系统；所述喷淋系统包括成份进道、导流板和喷淋板，所述导流板设置在喷淋板上部，所述导流板中设置导流槽，所述成份进道固定在所述导流板的左、右两端；所述加热吹托系统包括加热板和吹气板，所述加热板提高工艺腔内环境的温度，所述吹气板向薄膜基带的底部吹出惰性气体托起薄膜基带。本实用新型还提供了一种真空悬浮镀膜机，包括前述的真空镀膜工艺腔，还包括放卷腔、放卷过渡腔、收卷过渡腔和收卷腔。本实用新型本采用了一种真空悬浮技术，降低了

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533117 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202020793002.1 (22)申请日 2020.05.13 (66)本国优先权数