微波等离子体化学气相沉积装置.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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微波等离子体化学气相沉积装置.pdf

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本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积装置，包括：波导装置；反应腔，设置在所述波导装置下方，与所述波导装置连接；冷却罩，与所述反应腔连接，用于对所述反应腔进行风冷散热；屏蔽罩，围设在所述反应腔外部，以防止所述反应腔内的电磁辐射泄漏；旋转升降机构，所述旋转升降机构与所述反应腔内设置的生长平台连接，以实现所述生长平台在所述反应腔内做直线运动和旋转运动。本实用新型的微波等离子体化学气相沉积装置，可以为化学气相沉积工艺提供稳定的生长平台，避免了金刚石膜出现生长不均匀的现象。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212505057 U (45)授权公告日 2021.02.09 (21)申请号 202021593746.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020