一种P5000刻蚀机中阴极内衬的测漏装置.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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一种P5000刻蚀机中阴极内衬的测漏装置.pdf

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本实用新型涉及刻蚀机中零部件测漏设备技术领域，具体涉及一种P5000刻蚀机中阴极内衬的测漏装置，包括机座，机座的顶部设有减震板，减震板的顶部前侧均匀设有真空抽气泵，真空抽气泵的抽气端连通有管路，管路上由下至上依次安装有电磁阀和真空度记录仪，管路的上端连通有抽气软管，减震板的顶部后侧均匀放置有阴极内衬，阴极内衬的前后两侧抵接有夹板，夹板的左右两侧与滑轨滑动相连，本实用新型提供了一种P5000刻蚀机中阴极内衬的测漏装置，通过一系列结构的设计和使用，解决了一方面只能对单组阴极内衬进行测漏，导致测漏效率

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212542348 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202021725705.7 (22)申请日 2020.08.18 (73)专利权人无锡展硕科技有限公司