一种真空镀膜机.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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本实用涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种真空镀膜机，其包括真空箱、设于真空箱外用于对真空箱抽真空的抽真空机构和设于真空箱内的材料架、第一镀膜机构、传动机构、驱动机构、第二镀膜机构、第三镀膜机构以及离子源清洗机构；所述材料架用于承载待镀膜的基片；所述第一镀膜机构用于对材料架上的基片镀防指纹膜；所述传动机构用于带动材料架和第一镀膜机构转动；所述驱动机构用于驱动传动机构转动；所述第二镀膜机构用于对材料架上的基片镀硅膜；所述第三镀膜机构用于对材料架上的基片镀抗菌膜；所述离子源清洗机构用于向真空腔内释放等

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533113 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202020964469.8 C23C 14/56 (2006.01) (22)申请日 2