抽空管道在线自清洁装置.pdfVIP

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2023-02-14 发布于四川
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抽空管道在线自清洁装置.pdf

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本实用新型提供一种抽空管道在线自清洁装置，所述自清洁装置设置在硅单晶炉的真空抽空管道上，且所述自清洁装置靠近所述真空抽空管道的入口处，所述真空抽空管道上开设有穿入孔；所述自清洁装置包括通过所述穿入孔穿入所述真空抽空管道内的搅拌清洁装置和设置在所述真空抽空管道外，并驱动所述搅拌清洁装置工作的驱动机构。本实用新型能够在硅单晶炉正常运行状态下，驱动减速电机，带动搅拌清洁装置旋转，切割搅拌附着在真空抽空管道入口段内壁的杂质或挥发物，使所述杂质或挥发物脱离所述真空抽空管道内壁，并受真空泵组抽空负压力作用，

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212533203 U (45)授权公告日 2021.02.12 (21)申请号 202021782664.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2020