一种工业用大型真空机系统.pdfVIP

下载本文档

13
0
约5.3千字
约 6页
2023-02-12 发布于四川
举报
版权申诉

一种工业用大型真空机系统.pdf

1、本文档共6页，其中可免费阅读3页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明鉴于传统真空机速度慢、质量差和安全性低的问题，提出了一种可均衡压力梯度提高安全性的工业用大型真空机系统。该工业用大型真空机系统包括抽真空系统和箱体系统两个子系统。其中，抽真空系统包括罗茨泵、旋片泵、维持泵、扩散泵和各级管道。真空箱体包括箱盖和箱座，并且在箱盖与箱座之间安装有光幕传感器，在箱座向上动作时，光幕传感器接通，遇到障碍时光幕传感器动作，同时箱盖停止动作并复位，提高了工作过程的安全性。通过这样的结构，使抽气管道分别与箱盖和箱座连接，可使向内压力更加均衡，同时可通过增加封装组来提高生产

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212479503 U (45)授权公告日 2021.02.05 (21)申请号 201921524387.5 (ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利 (22)申请日 2019