直拉硅单晶工艺简介.pptxVIP

化料;稳定;引晶;放肩;转肩;等径;收尾;停炉冷却;取晶棒;工艺参数;压力化/熔料;稳定化/熔接;引晶;放肩;转肩;等径;收尾;停炉;主要内容;掉棒; 该情况可能会直接导致石英埚破裂引发漏硅事件。该情况发现应注意以下几点: 一、晶棒过长，停炉处理 1、立即停止埚转,将控制面板转为手动。 2、关闭加热电源.保持真空泵运转。 3、尽量开大氩气流量，尽量开小碟阀开度。保持炉内压力尽量高，氩气流通量尽量大.使炉内温度迅速下降。 二、长度小于300mm长，视情况而定，可以选择回熔。 1、停止埚转，观察炉内情况 2、进入回熔工艺 ;异常处理;异常处理;一、熔料时，出现打火 产生的原因：1、掉料 2、热场未装好 3、热场未清理干净，电阻不过 二、运行中出现打火 产生的原因 1、漏料 2、石墨坩埚与加热器之间有接触 3、石墨部件出现断裂，接触面不紧密 1、加热器电阻偏低，导致电流变大 2、石墨纯度不够，灰分杂质多 3、人为原因，热场未装好。 ; ;晶体扭曲处理;异常处理;晶晃 ;漏料 1、;停电;现象：1、报警灯闪烁与报警声。 2、加热器电源关闭。 3、操作界面显示正常 4、电源恢复后，报警停止。;处理方法：1、操作界面上的晶升，埚降。使晶棒脱离。 2、关闭氩气。保压 3、通知当班电工检修，若是总开关跳闸通知配电房 人员送闸，恢复供电。操作工恢复单晶炉的正常 操作。 4、无法短时间(30分钟）恢复供电，通知操作工停炉。 5、待液面结晶30分钟后，将坩埚升至最高位。 ;现象：1、操作柜与电源柜没电。;;第35页/共70页;处理方法：1、操作应急处的晶升，埚降。使晶棒脱离。 2、关闭界面上氩气。保压。 3、通知当班电工检修，若是总开关跳闸通知配电房 人员送闸，恢复供电。操作工恢复单晶炉的正常 操作。 4、无法短时间(30分钟）恢复供电，通知操作工停炉。 5、待液面结晶30分钟后，将坩埚升至最高位。 ;一、电源柜断电 现象：加热器没有功率（其他如氩气、埚转、晶转等正常） 处理方法： ;现象：有功率但操作柜没电。 处理方法：;;集中短停电未停水;现象：停电5分钟后恢复，出现水压低报警立即恢复正常 处理方法： 1、立即关闭抽空阀门。 2、降低埚位使晶棒与硅液脱离。 3、电源恢复时，立即开真空泵，待半分钟 后开抽空阀门，将氩气流量恢复正常。 4、复位电源柜上复位按钮后，继续开始加热。;处理方法：1、零时指挥小组（以值班主任为主）先查 看是否停水。 2、联系配电房停电情况，同时联系纯水站 供水是否正常。 3、冷却水和备用水也无法迅速提供，则通 知各操作工停炉。将晶棒脱离液面，迅 速撤离现场。;现象： 处理方法：;集中长停电长停水;停水;短暂集中停水恢复供水，无任何异常;处理方法： 1、迅速到加热电源柜上按复位键，取消报警，将功率给定到先前使用的功率。 2、若无法恢复，立即通知维修人员检修.可能是水压低 ,操作如下。;进水压力为 0.3;现象： 处理方法：1、先按电源柜的复位键，将功率给定到先前 值，维持炉温。 2、将水管插回再拧紧抱箍即可。个别情况有水 嘴断裂的现象，引流。不要让水冲电气设具 备。若电气设备进水了，只有停炉处理。 (发现爆