收放料纠偏装置及原子层沉积设备.pdfVIP

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2023-02-04 发布于四川
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收放料纠偏装置及原子层沉积设备.pdf

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本实用新型公开了一种收放料纠偏装置及原子层沉积设备，所述收放料纠偏装置包括：放卷组件和收卷组件，物料从放卷组件输出并被收卷组件接收；第一检测组件设置于所述放卷组件的放料路径上，所述第一检测组件用于检测输出的物料是否偏位；第一纠偏组件连接至所述放卷组件，所述第一纠偏组件用于根据所述第一检测组件的检测结果调整所述放卷组件的位置；第二检测组件设置于所述收卷组件的收料路径上，所述第二检测组件用于检测收卷组件接收的物料是否偏位；第二纠偏组件连接至所述收卷组件，所述第二纠偏组件用于根据所述第二检测组件的检测

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 212355905 U (45)授权公告日 2021.01.15 (21)申请号 202020682231.6 (22)申请日 2020.04.27 (73)专利权人深圳市原速光电科技有限公司